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                    光学微电子净化工程的净化原理

                    2021-09-03

                    从特定空间去除颗粒、有害空气、细菌等空气污染物,将室温、清洁度、压力、风速和气流分布、噪声、振动、照明和静电控制在一定要求范围内的研究。南宁净化工程设计的房间,无论外界空气条件如何变化,都能保持原定要求的洁净度、温度、湿度和压力。

                    气流→初级净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化出风口→机房→去除灰尘和细菌等颗粒物→回风百叶窗→初级净化重复上述过程达到净化目的.

                    光微电子精炼工程精炼参数

                    通风频率:100000级≥15、10000级≥20、1000≥30。 压差:相邻房间的主要工作场所≥5 Pa,平均风速:10, 100 0.3-0.5 m/s,冬季温度> 16°C,夏季<26°C,变化± 2°C。 温度45-65%,GMP粉体车间湿度在50%左右,电子车间湿度要稍高,以免产生静电。噪音≤65dB(A),新风补充量占总送风量的10%-30%,照度300LX。

                    南宁实验台在净化工程设计过程中,应加强对光微电子行业清洁工程设计方案的分析和理解,根据是新建工程还是旧厂改造工程,结合其具体的生产工艺、生产工艺和其他要求决定了对清洁度、温度和湿度的需求。根据项目的具体情况,同时考虑到制造商的经济性,应结合各种因素来确定所采用的清洗方案。只有这样才能设计出符合甲方生产使用要求,工程造价合理的清洗方案。经济、节能、实用的解决方案。

                    1.组合式通风机组+冷却器+高效出风口

                    这是清洁空调Z传统的施工方案之一。联合通风机组包含各种功能区,如混合区、初级过滤区、表面冷却区、二次回风区(或中间区)、加热区、加湿区、中效过滤区、风机区等。冷源由冷水机组提供。

                    南宁实验台

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